Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)
UV/EUV用 4象限（4分割）窓無しフォトダイオード SXUVPS4C
製品特長
- 窓無しパッケージ
- Quadrant photodiode
- UV光、EUV光の光軸調整に最適
- 波長13.5 nmの光に対して、感度 0.22 A/W
- 波長254 nmの光に対して、感度 0.02 A/W
- 1.25 mm² の受光面積
- EUV検出器
Opto Diode社のSXUVPS4Cは、13.5 nm 近傍の波長域における極端紫外線（EUV）放射、およびUV光に対する光軸調整を目的とした4象限（分割型）フォトダイオードです。1象限当たり1.25 mm²の受光面積を備えており、EUV光およびUV光のビームに対して、光軸のずれを高精度で検知することが可能です。
SXUVPS4の窓無しパッケージ製品です。
仕 様
| 受光面積 | 1.25mm² (per quadrant) |
|---|---|
| Responsivity |  (Typ) 0.22 (A/W) @13.5 nm (Typ) 0.02 (A/W) @254 nm |
| シャント抵抗 | (Min) 100 (MΩ) |
| キャパシタンス | (Typ) 100 (pF) (Max) 300 (pF) (逆バイアス電圧 0V 時) |
| 応答時間 | (Typ) 1 (μs) (VR = 0 V 時) |
| 暗電流 | （Typ）1 (nA) （Max）100 (nA) (逆バイアス電圧 ±18V 時) |
パッケージ情報
- TO-5, 5 Pin Package
