RITE（Rigaku Innovative Technologies Europe）
X線用高分解能カメラ Xsight Micron ™
製品特長
- サブミクロンレベルの高倍率・高分解能
- 光学系内蔵 レンズ交換可能 ※レンズカップリング（LC）タイプ
- コンパクトで設置・導入し易いデザイン
- オプションで真空対応可・EUV（≧50eV）までの検出レンジ拡張可
Ｘsitght Micronは、Ｘ線顕微法・マイクロトモグラフィ等、Ｘ線イメージング用に最適化された、サブミクロンレベルの高分解能を実現したＸ線ＣＣＤカメラです。散乱X線によるノイズを抑制する堅牢性がありながら、コンパクトで設置・導入し易いデザインが採用されています。データはUSBケーブル一つでPCへ高速転送され、エレクトロニクスボックスやCPB、水冷機構等の特別なアタッチメントは不要です。ご要望頂ければ、真空領域（EUV領域）での測定用途にも対応可能です。
レンズカップリングタイプのXsight Micron LCと、ファイバーカップリングタイプのXsight Micron FCの2タイプを提供しております。
Xsight Micron™ LC 仕様
| 視 野 | 0.90mm (H) ｘ0.68mm (V) ~ 14.40mm (H) x 10.80mm (V) で選択可 |
|---|---|
| 実効ピクセルサイズ | 0.27µm ~ 4.4µm ※視野選択による |
| ピクセル数 | 3300ｘ2500 |
| スペクトル範囲 | 3keV ~ 30keV |
| ダイナミックレンジ | 2800 : 1 |
| ゲイン | 0.35 e-/ADU |
| フレームレート | approx. 3 フレーム/秒 |
| 読出しノイズ | 7.5 e-rms |
| ビニング | x,y 独立ビニング |
| リモートトリガー | インプット/アウトプットトリガー |
| データインターフェース | USB2.0 |
LCタイプ用レンズユニット
| LC 0270 | LC 0540 | LC 1080 | LC 2160 | LC 4320 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 視 野 (H) x (V) |
0.90 mm x 0.68 mm | 1.80 mm x 1.35 mm | 3.60 mm x 2.70 mm | 7.20 mm x 5.40 mm | 14.40 mm x 10.80 mm |
| 実効ピクセルサイズ |
0.27 µm | 0.54 µm | 1.08 µm | 2.16 µm | 4.32 µm |
| 最高分解能 ＊JIMA RT RC-02 (中心エリア, 8 keV) |
0.4 µm | 0.6 µm | 1.5 µm | 3.0 µm | 7.0 µm |
| スペクトル範囲 | 5 keV – 30 keV | ||||
| 寸 法 | 68.8 mm (v) x 78.0 mm (dia.) | ||||
| 重 量 | 1.3 kg (LC 0270 ～LC 2160) | 1.5 kg | |||
Xsight Micron™ FC 仕様
| FC5400 | FC2160 | |
|---|---|---|
| 視 野 | 18.0 mm (H) x 13.5 mm (V) | 7.2 mm (H) x 5.4 mm (V) |
| 実効ピクセルサイズ | 5.40 µｍ | 2.16 µｍ |
| 空間分解能（Typ. FWHM） | 16 µｍ ＠8keV |
8 µｍ ＠8keV |
| スペクトル範囲 | 5 – 30keV |
|
| ダイナミックレンジ | 3100:1 (70dB) |
|
| ゲイン | 0.45 e-/ADU |
|
| 読出しノイズ | 10 e-rms | |
| フレームレート | 8 Mpix / s (approx. 1 フレーム / 秒) |
|
| ビニング | x,y 独立ビニング |
|
| リモートトリガー | インプット/アウトプットトリガー |
|
| データインターフェース | USB2.0 |
|
アプリケーション
- X線マイクロスコピー
- X線トモグラフィ
- X線メトロロジー
- X線イメージング
