RIT (Rigaku Innovative Technologies)
X線・EUV用 多層膜コーティング/オプティクス
製品特長
- 大型サイズ制作可 直線長さ最大：1.5ｍ / 最大径：0.75ｍ
- 多種形状制作可 球面/非球面、フラット、トロイダル、楕円放物線 等
- 高反射率・均一性
- 1D＆２Dd-スペース（積層周期）プロファイル精度：±0.005 nm rms
リガクイノベーティブテクノロジーズ(RIT)社は、その前身Osmic社から長年にわたり蓄積された多層膜コーティング技術に基づき、X線に関連した研究分野の発展・拡大に貢献しています。
シンクロトロン/XFEL用モノクロメータ、EUVコレクターミラー/等、用途に応じてカスタマイズされた高品質のコーティング、
並びに、再コーティング（refurbishshment）サービスをご提供します。
| 光学系構成 | • Single Bounce Multilayer Monochromator • Double Bounce Mutilayer Monochromator • Striped Double Bounce Multilayer Monochromator • Multilayer with Single Crystal Monochromator |
|---|---|
| サイズ | 長さ 3mm ～ 1.5m, 径 ～750ｍｍ |
| 材 料 | W/Si, W/C, Ni/Ti, Ni/B4C, Ni/C, Cr/C, Cr/Sc, Mo/Si, Mo/B4C, La/B, V/C, Ru/B4C, Al2O3/B4C, SiC/Si, Si/C, SiC/C, Fe/Si, Cr/B4C, Si/B4C etc. |
| デザイン | ・均一 / グレード周期長: ラテラル、ラディアル、2D ・d グレード: スーパーミラー& high-selective ・平面 / 曲面 ・斜入射(＜1°) ～ 直入射 |
