LUXEL Coporation

XUV・EUV領域用　薄膜フィルター

製品特長

• 高品質・高性能　＊衛星搭載用FM（フライトモデル）提供可能
• 標準フレーム（φ10~φ38mm）・VATゲートバルブ用フレーム　
• 多層(3～4層)　製作可能
• 大面積（例 φ190mm) 製作可能
• カスタム仕様（形状・サイズ・厚さ）対応実績豊富

LUXEL CORPORATION (米国 ワシントン州)が提供する、数十ナノメーター厚の金属薄膜、高分子薄膜フィルターは、Ｘ線天文観測衛星を中心に、数々のプロジェクトに貢献した実績と信頼性に裏付けられた高い性能と品質を誇ります。
近年では、EUVリソグラフィ関連装置向けフィルターのサプライヤーとして、半導体分野にも貢献しています。