Excillum AB
ナノフォーカスX線源 Nano Tube N3
Excillum社NanoTube N3は、高度な電子光学系と最新のタングステンダイヤモンド透過ターゲット技術が用いられており、自動電子線焦点調整と非点収差補正により、常に真円度の高い極めて小さなビームスポットが得ることが可能です。全設定電圧において自動的に業界最高レベルのLine/Space実分解能150nmを達成。さらに、最新の冷却及び熱設計により、長時間露出でも高い位置安定性を備えています。
特 長
- 自動電子線収束による高品質な真円形スポットの生成
- 全ての設定電圧において自動的に150nm分解能を達成
- 実スポットサイズのX線管内部測定表示機能
- 長寿命カソード
- 焦点位置を変えずに焦点寸法と印加電力の設定変更可能
- 焦点近くへのアクセスを実現する円錐形フロント形状
本製品の日本国内でのサービスは、シエンタオミクロン株式会社より提供されます。
NanoTube 仕様
| NanoTube N3 60kV | Nano Tube N3 110kV | Nano Tube N3 160kV |
|
| ターゲット物質*1 | ダイヤモンド基板上タングステン |
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|---|---|---|---|
| ターゲットタイプ | 透過型 |
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| 高輝度陰極材料 | LaB6 |
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| 電 圧 | 40-60ｋV | 40-110ｋV | 40-160kV |
| ターゲット最大印加電力 | 2.4W | 6.1W | 11W |
| 最小分解能 | 150nm | ||
| 位置安定性 |
＜110nm *1 | ||
| 焦点-対物最小距離 |
150µm | ||
*1 熱設定30分以上の後、8時間以上の固定条件設定にて動作させた場合の標準偏差 。
本製品の日本国内でのサービスは、シエンタオミクロン株式会社より提供されます。
仕様は変更される場合があります。最新バージョンはメーカーのウェブサイトをご覧ください。
サンプルデータ等、詳細はメーカーウェブサイトを参照下さい。
