Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)

UV/EUV用 4象限（4分割）フォトダイオード SXUVPS4

製品特長

• Quadrant photodiode
• UV光、EUV光の光軸調整に最適
• 波長13.5 nmの光に対して、感度 0.22 A/W
• 波長254 nmの光に対して、感度 0.02 A/W
• 1.25 mm² の受光面積
• EUV検出器

Opto Diode社のSXUVPS4は、13.5 nm 近傍の波長域における極端紫外線（EUV）放射、およびUV光に対する光軸調整を目的とした4象限（分割型）フォトダイオードです。1象限当たり1.25 mm²の受光面積を備えており、EUV光およびUV光のビームに対して、光軸のずれを高精度で検知することが可能です。