Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)
UV/EUV用 円形(Φ2.5mm) フォトダイオード SXUV5
製品特長
- Φ2.5 mm, 受光面積5 mm²の円形フォトダイオード
- UV光、EUV光のパワー測定に最適
- 波長13.5 nmの光に対して、感度 0.22 A/W
- EUV露光後の優れた安定性
- 丸形EUV検出器
Opto Diode社のSXUV5は、13.5 nm 近傍の波長域における極端紫外線（EUV）放射、およびUV光に対する光パワー測定を目的とした受光面積5 mm²の円形フォトダイオードです。SXUV100よりもコンパクトなデザインであり、それに伴い、応答時間も高速になっています。
仕 様
| 受光面積 | (Typ) 5 mm² (Φ2.5mm) |
|---|---|
| Responsivity |  (Typ) 0.22 (A/W) @13.5 nm |
| シャント抵抗 | (Min) 20 (MΩ) |
| キャパシタンス | (Typ) 500 (pF) (Max) 1500 (pF) (逆バイアス電圧 0V 時) |
| 応答時間 | (Typ) 1 (μs) (Max) 2 (μs) (VR = 0 V 時) |
パッケージ情報
