Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)
EUV用 高速フォトダイオード SXUV20HS1
製品特長
- ハイスピードEUVフォトディテクター
- 高い放射線耐性
- High Photon Flux Robustness
- 納品時、保護カバー付き
- 円形受光面
- グリッドライン 5 μm, ピッチ 100 μm
- EUVディテクタ
Opto Diode社のSXUV20HS1は、極端紫外線（EUV）放射およびX線のパルス精密検出を目的に設計されています。受光面に沿って100μm間隔でグリッドを配置することでナノ秒(ns)オーダーの応答時間を実現しています。
仕 様
| 受光面積 | 20mm² (テスト条件 Φ5.01mm 時) |
|---|---|
| Responsivity |  ・(Typ) 0.22 (A/W) @13.5 nm |
| Reverse Breakdown Voltage | (Min) 160 (V) |
| キャパシタンス | (Typ) 500 (pF) (Max) 1500 (pF) (逆バイアス電圧 0V 時) |
| 応答時間 | (Max) 3.5 (ns) (RL = 50 Ω, VR = 150 V 時) |
| 暗電流 | （Max）100 (nA) |
