LUXEL Corporation

抵抗加熱蒸着源

製品特長

• 高純度金属、セラミックで構成
• ルツボ＋タングステンフィラメントによる加熱
• 回転式ロックカバーでルツボの出し入れが容易
• 安定したフラックスで均一なコーティングが可能
• 有機物の低温蒸着に最適化されたOLEDもラインナップ

LUXELが提供する抵抗加熱型蒸発源は、設置・操作が簡単で安定した真空蒸着が行えます。
ルツボ、ライナーのオプションも複数取り揃えていますので、お客様のニーズに合わせて、幅広い材料にご使用頂けます。
研究開発用途に最適化された、コンパクトで機能的なデザインです。