Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)
EUV用 大面積Siフォトダイオード SXUV300C
製品特長
- 長方形受光領域
- 高い放射線耐性
- 波長1nmの感度を保つため、窓無しパッケージ採用
- 感度 0.22 (A/W) @13.5nm
- 軟X線/EUVディテクタ
Opto Diode社のSXUV300Cは、極端紫外線（EUV）放射およびX線の光パワー精密検出を目的に設計されています。受光面積がSXUV100のおおよそ3倍となっており、かつ、窓無しセラミックパッケージを採用しているため、波長1nmのような軟X線領域の微弱光（微弱信号）を高精度で検知することが可能です。
仕 様
| 受光面積 | 331mm² (テスト条件 22.05mm × 15.85mm 時) |
|---|---|
| Responsivity |  ・(Typ) 0.22 (A/W) @13.5 nm |
| シャント抵抗 | (Min) 5 (MΩ) |
| Reverse Breakdown Voltage | (Min) 20 (V) (Typ) 25 (V) |
| キャパシタンス | (Typ) 25 (nF) (Max) 40 (nF) (逆バイアス電圧 0V 時) |
| 応答時間 | (Typ) 15 (μs) (RL = 50 Ω, VR = 0 V 時) |
パッケージ情報
