Opto Diode 社 (旧 International Radiation Detectors 社)

EUV(13.5 nm)用 バンドパスフィルタ付きフォトダイオード SXUV100TF135

製品特長

• EUVバンドパスフィルタを受光面に蒸着
• 波長13.5 nmの光に対して、感度 0.09 A/W
• 100 mm² の正方形受光面 (Square active area)
• 納品時、保護カバー付き
• 波長検出領域：12 nm ～ 18 nm
• EUV検出器

Opto Diode社のSXUV100TF135は、13.5 nm 近傍の波長域における極端紫外線（EUV）放射の精密検出を目的に設計されています。100 mm²の大型有効面積を備え、12 nmから18 nmの波長範囲で優れた感度を発揮するため、13.5 nm高強度EUVアプリケーション、特に13.5 nmの光のパワーおよびエネルギー計測に最適です。

SXUV100の受光面の表層部に波長13.5 nm近傍をバンドパスする薄膜を蒸着しております。