ラドデバイス|RAD Device

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OptoDiode社

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Opto Diode社 IRDフォトダイオード選択ポイント

検出エネルギー(波長領域): [eV or nm]

検出フォトンエネルギー(eV,) 又は 波長(nm)領域 及びティピカルな感度(量子効率QE. 又は A./W)を確認します。

・AXUVシリーズ: 0.0124nm(100keV)~1100nm

 ※ 但し量子効率100%領域は、モデル(Si厚み)によって異なります。

 (例)AXUV100:~4keV, AXUV20HE1:~10keV


・SXUVシリーズ: 0.0124nm(100keV)~1100nm

 ※ 表層に金属(Pt他)を混入し、耐放射線性が増した反面 量子効率(感度)が低下しています。


・UVGシリーズ: 130nm~1100nm

 

*軟X線~紫外線領域検出用に最適化されたSiフォトダイオードにつき、入射窓無です。
(一部UV用モデルはfused silica, suprasil2 window付)
  感度は可視・NIR領域まで延びていますが、一般のフォトダイオードに比較し、可視・  NIR領域でのメリットはありません。

一方、必要な領域のみを検出するバンドパス、可視・NIR領域のブロックが必要な用途には、受光面に金属膜を蒸着したフィルター付フォトダイオードを選択可能です。

 

   フィルター付モデル  波長範囲

  AXUV100TF030    1 ~ 12 nm

  AXUV100TF400   18 ~ 80 nm

  SXUV100TF135   12 ~ 18 nm

光量・強度:[CW 光源/パルス光源]

光源タイプ:連続光(CW)・パルス光、光束(エネルギー密度)にマッチするシリーズ/モデルを選択します。
高エネルギーパルス光、高光束の場合は劣化による感度変化・検出上限(飽和閾値)*等を確認する必要があります。



・AXUVシリーズ: CW・低パワー/エネルギーに適しています。

 ※高エネルギー照射が一定量を超えると感度が低下します。

  通常、CW光源、低光量の検出に推奨されます。


・SXUVシリーズ: パルス・高エネルギー、高フラックス

 ※継続して照射された場合も、感度はほとんど変化しません。

 (例)EUVパルス光源, 高フラックスビームライン


・UVGシリーズ: UV領域パルス・CWいずれにも使用可能

 (例)UVレーザー、UVランプ

*逆バイアス電圧を用いることにより、検出上限の引き上げ、リニアリティレンジの伸長が可能です。
各シリーズ・モデルにより条件が異なりますので、 詳細についてはお問い合わせ下さい。

 


タイプ・形状

御用途にマッチしたタイプ・形状を選択いただけます。
各形状はメーカーウェブにて。

タイプ/シリーズ AXUV SXUV UVG
絶対値検出
Absolute Devices Transfer Standards
高速応答
High Speed
リニアアレイ
Lenear Array
ポジションセンシン
Position Sensing
バンドパス
Filtered Photodiode

較正

IRDのフォトダイオードは、米NISTにてSiフォトダイオードとしては唯一2次標準検出素子として認可され、AXUV100G感度データがウェブに公開されています。

ロット間誤差は通常±5%以内であるため、AXUVAbsolute Devices/Transfer Standards シリーズはこのデータを参照いただけます。
◎NIST: National Institute of Standard and Technologies (米)

個別較正については、上記NISTの他に以下の機関でも実施されています。
◎PTB: Physikalisch -Technische Bundesanstalt (独)

使用環境: [真空度] [ベーキング温度]

IRDフォトダイオードは 大気・真空・ガスの環境下で使用できます。
ガスに関してはヘリウム・アルゴン・窒素中で使用いただけますが、詳細はお問い合わせ願います。

  • 真空度
    AXUV/SXUV/UVGシリーズ* : ~ 10-10torr (UHV)AXUVフィルター付きフォトダイオード: ~10-7torr

      ※ UHV対応モデル:窓無し・セラミックパッケージ・エポキシ保護無しタイプ
           EUV(共晶マウント)タイプのみ。

  • ベーキング温度
    AXUV/SXUV/UVGシリーズ:~150℃
    ※ 操作温度は-20℃~+80℃、
     但し温度により量子効率が変動しますのでご注意ください。※フィルター付は一部の材料を除き、ベーキング不可。

 

  • 洗浄
    通常、hot acetone やisopropyl alcohol で数回洗浄をおこなっております。
    フォトダイオードに関してはその他特別な洗浄は行っておりませんが、
    10-8torr までの真空度ならそのまま使用いただくケースが多いようです。

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