ラドデバイス｜RAD Device

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ラドデバイス株式会社サポートOpto Diode社 IRDフォトダイオード選択ポイント

OptoDiode社

サポート
Opto Diode社 IRDフォトダイオード選択ポイント

検出エネルギー（波長領域）：　[eV or nm]

検出フォトンエネルギー（eV,） 又は 波長（nm）領域　及びティピカルな感度（量子効率QE.　又は　A./W）を確認します。

・AXUVシリーズ＊：　0.0124nm（100keV）～1100nm

　※ 但し量子効率100％領域は、モデル（Si厚み）によって異なります。

 （例）AXUV100：～4keV,　AXUV20HE1：～10keV


・SXUVシリーズ＊：　0.0124nm（100keV）～1100nm

　※ 表層に金属（Pt他）を混入し、耐放射線性が増した反面 量子効率（感度）が低下しています。


・UVGシリーズ：　130nm～1100nｍ

 

＊軟X線～紫外線領域検出用に最適化されたSiフォトダイオードにつき、入射窓無です。
（一部UV用モデルはfused silica, suprasil2 window付）
  感度は可視・NIR領域まで延びていますが、一般のフォトダイオードに比較し、可視・  NIR領域でのメリットはありません。

一方、必要な領域のみを検出するバンドパス、可視・NIR領域のブロックが必要な用途には、受光面に金属膜を蒸着したフィルター付フォトダイオードを選択可能です。

 

 　　フィルター付モデル　　波長範囲

　　AXUV100TF030　　　 1 ~ 12 nm

　　AXUV100TF400　　　18 ~ 80 nm

　　SXUV100TF135　　　12 ~ 18 nm

光量・強度：[CW 光源/パルス光源]

光源タイプ：連続光（CW）・パルス光、光束（エネルギー密度）にマッチするシリーズ／モデルを選択します。
高エネルギーパルス光、高光束の場合は劣化による感度変化・検出上限（飽和閾値）＊等を確認する必要があります。



・AXUVシリーズ：　CW・低パワー/エネルギーに適しています。

　※高エネルギー照射が一定量を超えると感度が低下します。

　　通常、CW光源、低光量の検出に推奨されます。


・SXUVシリーズ：　パルス・高エネルギー、高フラックス

　※継続して照射された場合も、感度はほとんど変化しません。

　（例）EUVパルス光源,　高フラックスビームライン


・UVGシリーズ：　UV領域パルス・CWいずれにも使用可能

　（例）UVレーザー、UVランプ

＊逆バイアス電圧を用いることにより、検出上限の引き上げ、リニアリティレンジの伸長が可能です。
各シリーズ・モデルにより条件が異なりますので、 詳細についてはお問い合わせ下さい。

 

タイプ・形状

御用途にマッチしたタイプ・形状を選択いただけます。
各形状はメーカーウェブにて。

タイプ/シリーズ AXUV SXUV UVG
絶対値検出
Absolute Devices　Transfer Standards		 ● ※ ●
高速応答
High Speed		 ● ● ●
リニアアレイ
Lenear Array		 ●
ポジションセンシン
Position Sensing		 ● ● ●
バンドパス
Filtered Photodiode		 ● ●

較正

IRDのフォトダイオードAXUV100Gは、米NISTにてSiフォトダイオードとしては唯一2次標準検出素子として認可されています。

EUV領域における個別較正については、以下の機関で実施されています。

◎NIST: National Institute of Standard and Technologies　(米)
◎PTB: Physikalisch -Technische Bundesanstalt　(独)

使用環境：　[真空度] [ベーキング温度]

IRDフォトダイオードは　大気・真空・ガスの環境下で使用できます。
ガスに関してはヘリウム・アルゴン・窒素中で使用いただけますが、詳細はお問い合わせ願います。

  • 真空度
    AXUV／SXUV／UVGシリーズ＊ ： ～ 10-10torr （ＵＨＶ）AXUVフィルター付きフォトダイオード：　～10-7torr

      ※ UHV対応モデル：窓無し・セラミックパッケージ・エポキシ保護無しタイプ
           EUV（共晶マウント）タイプのみ。

  • ベーキング温度
    AXUV／SXUV／UVGシリーズ：～150℃
    ※ 操作温度は－20℃～＋80℃、
    　但し温度により量子効率が変動しますのでご注意ください。※フィルター付はベーキング不可。

 

  • 洗浄
    通常、hot acetone やisopropyl alcohol で数回洗浄をおこなっております。
    フォトダイオードに関してはその他特別な洗浄は行っておりませんが、
    10-8torr までの真空度ならそのまま使用いただくケースが多いようです。

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