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LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・ウィンドウ

XUV・EUV用バンドパスフィルター 可視ブロッキング 隔壁窓 レーザーターゲット

LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・ウィンドウ

LUXELは高品質薄膜フィルターのメーカーとして、極紫外・X線研究プロジェクトに貢献して参りました。特に、各国の天文観測衛星への搭載は年毎に実績を重ね、その信頼は揺ぎ無いものになっています。
一方、最近では、次世代半導体製造装置の開発に必要とされるEUV用フィルターの製作に意欲的に取り組み、成果を上げています。

LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・ウィンドウ

◯高品質、高性能
◯多層(3〜4層) 製作可能
◯大面積(内径 > 180mm) 製作可能
◯豊富な材質
◯カスタムサポート



LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・ウィンドウ

◯宇宙X線望遠鏡
◯X線天文観測
◯Skylab, Voyager1&2, Giotto, YOHKOH, ROSA, ASTRO-D, GOES JET-X, Orfeus,
 CHANDRA-X, TRACE., ASTRO-E2 他
◯放射光X線ビームライン、X線レーザー
◯EUVリソグラフィー

LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・製品選択ガイド

LUXEL社の軟X線〜UV領域用 薄膜フィルター・ウィンドウ
ウィンドウ / 分離フィルター

− VATミニゲートバルブ


レーザーターゲット

− ガスセル(用途:レーザー核融合)


バンドパスフィルター / 可視領域射光フィルター

− 材質: Al, B, C, In, Nb, Pd, Si, Sn, Zr, Polyimide 他



LUXEL CORPORATION
ラクセル社 米国 ワシントン州